年間10000種類以上の
セラミックスパーツ製作実績

超大型セラミックス制作、パーティクル、静電気対策
材料開発〜設計・製作まで一貫対応いたします

VA・VE提案事例

デバイスメーカーをはじめとする様々な業界のお客様に
ご提供してきたセラミックスパーツをご紹介いたします。

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  • 薄ウェハ
  • パーティクル
  • 吸着痕
  • 反りウエハ
  • 不純物
  • ウエハの傷
  • アウトガス
  • ウエハの張り付き
  • 通気性
  • 位置ズレ
  • 耐プラズマ
  • 接触ダメージ
  • 発塵
  • 耐熱性
  • 摩耗
  • 耐薬品性
  • 歪み
  • 導電性
  • 静電気
  • 生産性(スループット)
  • スパーク
  • 製品の交換工数
  • 表面抵抗値
  • 反射率
  • 糸くず付着
  • 目詰まり
  • 歩留まり
  • 製品寿命
  • 不良率
  • コンタミ
  • 機能性
  • 耐食性
  • コスト
  • 耐摩耗性向上
  • ウエハの傷防止
  • 耐熱性向上
  • 反りウエハ対策
  • 耐薬品性向上
  • 位置ズレ防止
  • 生産性向上(スループット向上)
  • 接触ダメージ抑制
  • 工数削減
  • 摩耗防止
  • 吸着痕抑制
  • 歪み抑制
  • 長寿命化
  • コンタミ対策
  • コストダウン
  • メタルコンタミ対策
  • 機能性向上
  • 静電気対策
  • 可搬性
  • スパークリング防止
  • 生産性向上
  • 不良率低減
  • 耐摩耗性
  • 歩留まり向上
  • 表面抵抗値制御
  • パーティクル対策
  • アウトガス抑制
  • プラズマ耐性向上

工数削減

機能性向上

  • ウエハ搬送ハンド
  • 焼成用セッター
  • 多孔質チャック
  • アルミナカバー
  • PAD
  • その他

ウエハ搬送ハンド

製品・サービス

他社には真似できない、当社の独自技術を
駆使して製作したセラミックスパーツで、お客様のお悩みを解決いたします。

特注製作事例

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